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產品標準:GB/T 8979-2008
項 目
指 標
高純氮
氮氣(N2)純度(體積分數)/10-2 ≥
99.999
氧(O2)含量(體積分數)/10-6 ≤
3
氬(Ar)含量(體積分數)/10-6 ≤
—
氫(H2)含量(體積分數)/10-6 ≤
1
一氧化碳(CO)含量(體積分數)/10-6 ≤
二氧化碳(CO2)含量(體積分數)/10-6 ≤
甲烷(CH4)含量(體積分數)/10-6 ≤
水(H2O)含量(體積分數)/10-6 ≤
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